超高分辨率场发射扫描电子显微镜
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收费标准
机时200元/小时 -
设备型号
MERLIN Compact -
当前状态
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管理员
张电波,石娟 0371-69975839 -
放置地点
龙湖校区2号组团楼B117
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
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名称
超高分辨率场发射扫描电子显微镜
资产编号
S2015061805
型号
MERLIN Compact
规格
MERLIN Compact
产地
中国
厂家
蔡司
所属品牌
蔡司
出产日期
购买日期
2015-11-10
所属单位
先进材料研究中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
0371-69975839
联系邮箱
9799@zut.edu.cn
放置地点
龙湖校区2号组团楼B117
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1、电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源2、加速电压：20V ～ 30 kV，每档10 V步长连续可调3、分辨本领 二次电子像分辨率15 kV时优于0.8nm 1 k V时优于1.6 nm 4、探针电流 5 pA－20 nA ，稳定性: 优于 0.1%/h 放大倍率 范围：12 ～ 2000,000倍5、七孔光阑.通过自动补偿套件可达到精准合轴，光阑尺寸:7 µm, 10 µm, 15 µm, 20 µm, 30 µm, 60 µm, 120 µmX射线能谱仪6、X射线探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体实际面积不小于30 mm2，有效采集面积不小于20mm27、分辨率MnKa优于127eV，C Ka优于56eV，F Ka优于65eV（20000CPS）；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率衰减小于1eV。"
主要功能及特色
样品的微观二次电子形貌像、高分辨背散射图像、基于EDS能谱仪的元素分析及元素分布成像。
样本检测注意事项
样品的微观二次电子形貌像、高分辨背散射图像、基于EDS能谱仪的元素分析及元素分布成像。
设备使用相关说明
提前一周预约. 遵守操作流程。
按协议规定收费
按协议规定收费
预约资源
检测项目
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