微波等离子体化学气体沉积系统
-
0/人使用者
-
0/次总次数
-
0/小时总时长
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时3000元/小时 -
设备型号
优普莱 UP-230 -
当前状态
待修 -
管理员
李其松 15003865201 -
放置地点
龙湖校区2号实验楼022
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
微波等离子体化学气体沉积系统
资产编号
S2016005019
型号
优普莱 UP-230
规格
产地
中国
厂家
玉德科技集团股份有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2016-12-16
所属单位
材料电子与储能学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
--
联系电话
15003865201
联系邮箱
6547@zut.edu.cn
放置地点
龙湖校区2号实验楼022
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
""微波发射器频率：2.45 GHz, 915 MHz；沉积功率： 3-6 kW；
等离子团直径：70 mm,
工作气压范围：0-1000mBar； ""
等离子团直径：70 mm,
工作气压范围：0-1000mBar； ""
主要功能及特色
气相沉积制备块体或薄膜材料
样本检测注意事项
制备大尺寸宝石级单晶钻石，高取向度金刚石晶体，纳米结晶金刚石，碳纳米管/类金刚石碳（DLC）
设备使用相关说明
3000元/小时
预约资源
检测项目
附件下载
公告
同类仪器
